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真空泵技术
日期：2018-01-05 浏览：
真空获得技术
真空获得技术
属动量传递真空泵。实用的分子泵是涡轮分子泵，其工作原理是依靠高速运动的物体表面把定向速度传递给入射表面的气体分子，造成泵出口、入口的气体分子正向、反向传输几率的差异而产生抽气作用。涡轮分子泵典型结构见图4a，它由涡轮叶片组件、中频马达和外壳组成。涡轮叶片组件包括若干转子叶轮和定子叶轮，每一叶轮相应于一级。叶轮的制法之一是在薄圆片上径向开槽，再按相同角度扭成许多近似平行的叶片，定子叶轮的开槽方向与转子叶轮相反。图4b为转子叶轮剖面图。叶片转动时的平均平移速度大体上等于空气分子的平均热运动速度，气体与叶轮相碰获得定向速度，而叶轮开槽的角度保证分子由入口到出口的传输几率大于相反方向的几率。出口、入口压强相等时泵有最大抽速。分子泵的压缩比和气体分子量的平方根成正比，气体分子越轻，压缩比越小，分子泵的残气主要由氢组成，而重的碳氢化合物是极少的，因此分子泵油蒸气污染较轻。
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